江淮观察 安徽有这样一个县流淌着“半导体的血液”

　　近年来，我国半导体产业发展遭遇到不断升级的恶意打压与毫无底线的围堵遏制，特别是近期受到广泛关注的相关国家50%出口管制规则以及由此引发的“安世之乱”，更为我国半导体产业的产供链安全再次敲响了警钟，也使得我国半导体等高端制造业重点领域关键核心技术的国产替代与产供链自主可控显得更加急迫。

　　这一态势下，一个被称为现代工业特别是半导体产业“血液”的细分产业赛道尤其值得关注。

　　电子特气，作为特种气体的重要分支，是指在半导体、平板显示、太阳能电池及其他电子产品生产过程中使用的具有极高纯度要求的功能性气体，这些气体在半导体制造的薄膜沉积、光刻、刻蚀、掺杂、钝化、清洗等核心工艺环节中扮演着不可替代的角色。

　　在晶圆制造中，电子特气是仅次于硅片的第二大半导体材料，占晶圆制造成本的14%左右。由于半导体制造对材料精度的严格要求，电子特气的纯度标准通常需达到99.999%（5N）甚至更高，部分先进制程工艺要求纯度达到9N级别，其质量直接决定了芯片的良率与性能可靠性。

　　近年来，伴随着我国高科技产业和高端制造业快速发展，技术升级压力倒逼电子新材料企业创新，部分电子特气企业已实现4N-5N级（纯度99.99%-99.999%）中低端产品量产，但在集成电路等高端应用领域的国产化率仍不足20%，关键品种仍高度依赖进口，7N级（纯度99.99999%）以上高纯气体仍被美、日、德企业垄断，技术壁垒显著。

　　而安徽“第三城”滁州市所辖的全椒县，正悄无声息地发力，致力改变这一行业格局。

　　这个与安徽省会合肥、江苏省会南京几乎等距的县城，为什么能流淌着“半导体的血液”？

　　在安徽全椒经济开发区电子新材料产业园，就有这么一群企业：他们的产品不像半导体芯片、LED液晶显示器、太阳能电池等电子产品那么直接受人关注，而是为这些电子产品在制造过程中提供“看不见摸不着”却必不可少的各种功能的特种气体和前驱体材料。

　　短短12年时间，以南大光电为代表的一批电子新材料企业陆续落户园区，产品覆盖从电子特气、前驱体材料到光刻胶材料、电子焊接辅材等领域，获评“全国电子新材料产业示范基地”“安徽省新材料产业十强园区”。

　　“外国人能办到的，我们也一定能办到！努力把南大光电建设成为拥有国际话语权的电子材料公司。”走进全椒南大光电材料有限公司，创始人孙祥祯的这番话被镌刻在大门之上，字字铿锵，信念如磐。

　　该公司生产厂区，精密设备持续运转，高纯气体在管道中静静流淌，中控室里，显示屏“矩阵”实时跳动着生产数据，工作人员通过电脑精准把控生产流程。作为国内半导体材料领域的先行者，南大光电全椒基地正以“拓荒者”的姿态，持续突破技术壁垒，为中国芯片产业注入自主创新的底气。

　　“如果把硅片基板比作半导体的‘骨架’，那么高纯磷烷、砷烷等电子气体就是半导体的‘血液’，这些气体在半导体制造的核心工艺环节中扮演着不可替代的角色。”公司总经理张弘对记者说，南大光电在电子新材料领域的国产化探索早在上世纪八十年代就已经开始。

　　1987年，时任南京大学化学系教授的孙祥祯，在临近退休之时，成立了MO源研发团队，决心研发出中国自己的MO源，突破西方国家对中国的技术封锁。

　　2000年，依托于MO源技术的积累，孙祥祯团队成立了“江苏南大光电材料股份有限公司”（简称“南大光电”），计划将前期在MO源领域的研发成果推向市场，聚焦在高纯MO源等核心电子材料的规模化生产，解决中国光电子材料长期依赖进口的问题。通过政府的政策引导、资金支持、产业配套协调，终于实现MO源的大规模产业化，为中国半导体照明、显示及先进半导体产业的发展奠定了材料基础。

　　该项技术的落地推动了LED生产成本的下降和光效的提升，使LED灯从昔日的“奢侈品”转变为如今家家户户普遍使用的照明产品。

　　2012年南大光电上市后，陆续承接“高纯磷烷、砷烷研发及产业化”“高纯ALD/CVD前驱体产品产业化”等国家“02专项”项目，努力解决半导体材料国产替代难题。于是，向外寻找新的生产基地，更好满足项目需求显得十分紧迫。

　　“全椒县敏锐的战略眼光、优越的区位条件和营商环境，以及坚定发展新型化工园区的决心，促成了南大光电全椒基地项目落地。”张弘告诉记者，公司2013年落户全椒县以来，围绕先进前驱体材料（包含MO源）、电子特气和光刻胶等多项核心材料展开，产品覆盖LED、集成电路、液晶显示、太阳能电池等多个领域，市场占有率不断提升，基本实现该领域产品的完全国产化，并进入国际一流公司供应链。其中，高纯砷烷品质达到了7N，制作技术居全球前列，产能位居全球第一，市占率约40%。去年全椒公司材料项目、半导体材料项目实现营收约10亿元，占南大光电全部营收的近一半。

　　相关预测机构报告显示，中国电子特气市场增速显著高于全球平均水平，体现出强劲的内生增长动力，目前市场规模已达200多亿元，未来几年复合增长率将保持较快增速，增速显著高于全球市场平均水平。

　　以南大光电为例，2016年至2024年，营收从1.01亿元增长至23.52亿元，年均复合增长率为45.4%；净利润从754.87万元增长至2.71亿元，年均复合增长率为52.7%。由此，也成就了南大光电在A股上市公司中的行业龙头地位。

　　这也意味着，电子特气国产化率将持续提升，逐步改变由国际巨头主导的市场格局。

　　南大光电的落户，加上对电子特气行业广阔前景的精准研判，让全椒县果断设立电子新材料产业园和发展基金，充分发挥南大光电龙头效应，围绕“基础化工原材料、化学分离提纯工艺及设备、电子试剂及特种气体、下游应用”全链条招引项目，推动产业集聚和高端化发展。

　　为此，全椒县打出产业培育“组合拳”：成立县委主要领导牵头的专业招商小组，推行“以商招商”模式；创新“四到”（随叫随到，不叫不到，服务周到，说到做到）精准帮扶和项目“四方”（投资方、施工方、监理方、帮扶责任单位）周碰头商谈帮办机制，构建“有求必应、无事不扰”的营商环境，持续延链补链强链。电子新材料产业园先后引进高层人才团队6个，在布局前沿技术、促进产业集聚发展上增强了主动权。

　　该县围绕产业链部署创新链，围绕创新链布局产业链，强化企业科技创新主体地位，建立科技型企业培育库，实施“双倍增”行动，健全“科技型中小企业-高新技术企业-科技领军企业”梯次培育机制。

　　目前，全椒县电子新材料产业已集聚企业22家，其中规上企业14家，生产电子特气类产品152种，今年上半年实现产值15.2亿元。到2030年，力争规上企业数量突破25家，产值迈过50亿元大关，全力打造成为长三角地区乃至全国重要的电子新材料产业基地，创建安徽省级未来产业先导区。

　　2017年落户的全椒科利德电子材料有限公司，已实现了7N5级超纯氨、6N5级高纯氧化亚氮、4N5级高纯丙烯等产品的产业化，相关产品性能达到国际先进水平，目前正在承担国家重点研发计划“战略性先进电子材料”专项中“面向第三代半导体的超高纯度有机源及氮源的关键制备技术”项目。

　　“我们的终端客户大部分分布在南方，尤其是华东一带。来到全椒，既靠近市场，也便于供应链协同。”公司总经理寻虎对记者说。

　　2018年，全椒亚格泰电子新材料科技有限公司成立，专注于泛半导体行业上游高端关键原材料，核心产品电子级乙硅烷是20nm以下先进制程至关重要的成膜气体，产品已进入重要国际半导体大厂供应链，并填补了相关细分产品的国产空白。

　　“公司刚落地时，当地政府提供了税务优惠、贷款协助、人才招聘等多项支持。”公司安全总监刘广登回忆说，“当时企业在办理气瓶充装证时，因气瓶数量要求不符合特种气体小规模市场实际，是当时的副县长带队与省市场监管局协调，借鉴江苏经验，前后两个月就成功解决办证问题，大大提振了企业生产经营的信心。”

　　苏州柯仕达入驻园区以来深耕电子焊接中的“小帮手”——助焊剂，以及清洗剂、稀释剂等电子化工辅材。“我们的产品虽然很小，但没有我们的产品不行啊！”安徽柯仕达公司总经理毕红辉向记者解释说，尽管不为大众所知，但公司的产品却成为消费电子、光伏组件乃至新能源汽车制造中不可或缺的“工业纽带”，以其独特的方式参与全球电子产品制造的每一个环节。目前，该公司正新建年产1600吨热界面材料及2000吨水基电子助焊剂生产线，助力高端、绿色制造。

　　此外，园区内安徽博泰电子材料有限公司是我国第一家掌握高纯三甲基铝的生产工艺技术并能够使技术路线产业化的企业，打破了国外产品技术的垄断，填补了国内空白，还是国内唯一一家将甲基铝氧烷产业化的公司。

　　从一片空白到集群成势，全椒电子新材料产业园将以创新为本，以集聚为要，为全国乃至全球高端制造持续“输血”赋能。返回搜狐，查看更多